洗浄装置

●12インチ～4インチまで、あらゆるサイズのシリコンウエーハ洗浄装置を設計致します。

●乾燥方式　公転式/自転式スピンドライヤー・温純水引き上げ乾燥装置　からご選択頂けます。

装置実績：　RCA洗浄装置，レジスト剥離装置，膜除去エッチング装置 お客様のプロセス，コストに応じた設計を行います。　お気軽にお問合せ下さい。

●小口径ウエーハの自動洗浄装置を設計致します。

装置実績：　レジスト剥離装置，リフトオフエッチング装置(クエンチワンバス機能有り）

お客様のプロセス，コストに応じた設計を行います。　お気軽にお問合せ下さい。

●あらゆるサイズの石英管洗浄装置を設計致します。石英部品洗浄装置も設計致します。

装置実績：ワンバスタイプ洗浄装置，２槽式洗浄装置

●あらゆるサイズの石英管・石英部品のクリーン保管庫を設計致します。

この他にも石英運搬台車もカスタム設計致します。 お客様のプロセス，コストに応じた設計を行います。　

お気軽にお問合せ下さい。

●小型集中供給システムやローカル供給システムを設計致します。

●枚葉洗浄装置用薬液恒温循環濾過システム・研磨砥液供給システムも設計致します。

●高濃度薬液回収冷却廃液システムも設計致します。

お客様のプロセス，コストに応じた設計を行います。お気軽にお問合せ下さい。