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株式会社スリーダイン
熊本県八代市郡築三番町82-1
TEL.0965-37-3401
FAX.0965-37-3402
 
 

シリコンウエーハ洗浄装置(キャリア搬送式)

シリコンウエーハ洗浄装置(キャリア搬送式)
 
●12インチ~4インチまで、あらゆるサイズのシリコンウエーハ洗浄装置を設計致します。
●乾燥方式 公転式/自転式スピンドライヤー・温純水引き上げ乾燥装置 からご選択頂けます。
装置実績: RCA洗浄装置,レジスト剥離装置,膜除去エッチング装置 お客様のプロセス,コストに応じた設計を行います。 お気軽にお問合せ下さい。
 

化合物半導体ウエーハ洗浄装置(バスケット搬送式)

化合物半導体ウエーハ洗浄装置(バスケット搬送式)
 
●小口径ウエーハの自動洗浄装置を設計致します。
装置実績: レジスト剥離装置,リフトオフエッチング装置(クエンチワンバス機能有り)
お客様のプロセス,コストに応じた設計を行います。 お気軽にお問合せ下さい。
 

石英管洗浄装置・石英管クリーン保管庫

石英管洗浄装置・石英管クリーン保管庫
 
●あらゆるサイズの石英管洗浄装置を設計致します。石英部品洗浄装置も設計致します。
装置実績:ワンバスタイプ洗浄装置,2槽式洗浄装置
●あらゆるサイズの石英管・石英部品のクリーン保管庫を設計致します。
この他にも石英運搬台車もカスタム設計致します。 お客様のプロセス,コストに応じた設計を行います。 
お気軽にお問合せ下さい。
 

薬液供給設備・大型循環濾過設備・薬液回収タンク等

薬液供給設備・大型循環濾過設備・薬液回収タンク等
 
●小型集中供給システムやローカル供給システムを設計致します。
●枚葉洗浄装置用薬液恒温循環濾過システム・研磨砥液供給システムも設計致します。
●高濃度薬液回収冷却廃液システムも設計致します。
お客様のプロセス,コストに応じた設計を行います。お気軽にお問合せ下さい。
 
 
薬液供給供給ユニット
薬液供給供給ユニット
 
有機溶剤循環装置
有機溶剤循環装置
 
PTFE製回収タンク
PTFE製回収タンク
 

その他

その他
 
 
クリーンドラフト 自動部品洗浄装置
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