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株式会社スリーダイン
熊本県八代市郡築三番町82-1
TEL.0965-37-3401
FAX.0965-37-3402
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FAX.0965-37-3402
シリコンウエーハ洗浄装置(キャリア搬送式)
シリコンウエーハ洗浄装置(キャリア搬送式)
●12インチ～4インチまで、あらゆるサイズのシリコンウエーハ洗浄装置を設計致します。
●乾燥方式 公転式/自転式スピンドライヤー・温純水引き上げ乾燥装置 からご選択頂けます。
装置実績： RCA洗浄装置，レジスト剥離装置，膜除去エッチング装置 お客様のプロセス，コストに応じた設計を行います。 お気軽にお問合せ下さい。
化合物半導体ウエーハ洗浄装置(バスケット搬送式)
化合物半導体ウエーハ洗浄装置(バスケット搬送式)
●小口径ウエーハの自動洗浄装置を設計致します。
装置実績： レジスト剥離装置，リフトオフエッチング装置(クエンチワンバス機能有り）
お客様のプロセス，コストに応じた設計を行います。 お気軽にお問合せ下さい。
石英管洗浄装置･石英管クリーン保管庫
石英管洗浄装置･石英管クリーン保管庫
●あらゆるサイズの石英管洗浄装置を設計致します。石英部品洗浄装置も設計致します。
装置実績：ワンバスタイプ洗浄装置，２槽式洗浄装置
●あらゆるサイズの石英管・石英部品のクリーン保管庫を設計致します。
この他にも石英運搬台車もカスタム設計致します。 お客様のプロセス，コストに応じた設計を行います。
お気軽にお問合せ下さい。
